Metode untuk menyiapkan gas ultrapure

Gas ultrapure sebagian besar disiapkan dengan memurnikan gas industri, menggunakan metode seperti adsorpsi, penyerapan, difusi film, elektrolisis, biokimia, radiasi, fotolisis, distilasi kriogenik, dan katalisis . misalnya dari hidrogen yang dapat diperoleh dari nitrogen, helium, dan argon. adsorpsi untuk mendapatkan gas ultrapure; Argon kasar juga dapat diekstraksi dari gas pembersih amonia sintetis; Krypton dan Xenon mentah diekstraksi dari gas fisi nuklir dan kemudian dimurnikan untuk mendapatkan gas ultrapure .